Ứng dụng
Thiết kế tất cả trong một, cấu trúc và hình dạng thông minh. Đầu quét và giai đoạn mẫu được thiết kế cùng nhau, hiệu suất chống rung mạnh. Thiết bị căn chỉnh đầu dò và phát hiện tia laser chính xác giúp việc điều chỉnh tia laser trở nên đơn giản và dễ dàng. Điều chỉnh động cơ servo để điều khiển đầu tiếp cận mẫu theo cách thủ công hoặc tự động, để nhận ra vị trí khu vực quét chính xác. Thiết bị truyền mẫu có phạm vi rộng và độ chính xác cao cho phép quét bất kỳ khu vực mẫu thú vị nào; Các loại máy quét khác nhau đáp ứng các yêu cầu khác nhau của khách hàng về độ chính xác và kích thước quét; hệ thống quan sát quang học để kiểm tra đầu và lấy mẫu định vị. Hệ thống quan sát CCD để quan sát và định vị khu vực mẫu theo thời gian thực;
Các tính năng chính
1. Đầu quét và bàn mẫu được thiết kế cùng nhau, hiệu suất chống rung mạnh
2. Thiết bị căn chỉnh đầu dò và phát hiện laser chính xác giúp việc điều chỉnh laser trở nên đơn giản và dễ dàng;
3. Điều chỉnh động cơ servo để điều khiển đầu tiếp cận mẫu theo cách thủ công hoặc tự động, để thực hiện định vị khu vực quét chính xác.
4. Thiết bị chuyển mẫu có phạm vi rộng và độ chính xác cao cho phép quét bất kỳ vùng mẫu thú vị nào;
5. Hệ thống quan sát quang học để kiểm tra đầu và định vị mẫu.
6. Hệ thống điện tử được thiết kế theo dạng mô-đun và dễ bảo trì cũng như phát triển thêm.
7. Áp dụng lò xo để cách ly rung động, hiệu suất đơn giản và tốt.
Sự chỉ rõ
Hoạt động | Chế độ tiếp xúc, chế độ ma sát, | góc quét | Ngẫu nhiên |
Cỡ mẫu | Ø≤90mm,H≤20mm | chuyển động mẫu | 0~20mm |
tối đa.quét | X/Y: 20μm, Z: 2μm | Độ rộng xung của động cơ tiếp cận | 10±2ms |
Nghị quyết | X/Y: 0,2nm, Z: 0,05nm | Hệ thống quang học | Độ phóng đại: 4x, |
Tôc độ quet | 0,6Hz~4,34Hz | Điểm dữ liệu | 256×256,512×512 |
quét | XY: D/A 18-bit, Z: D/A 16-bit | Loại phản hồi | Phản hồi kỹ thuật số DSP |
lấy mẫu dữ liệu | Một kênh A/D 14 bit và kênh đôi A/D 16 bit đồng thời | ||
kết nối máy tính | USB2.0 | Tỷ lệ lấy mẫu phản hồi | 64.0KHz |
các cửa sổ | Tương thích với Windows 98/2000/XP/7/8 |
Tiêu chuẩn
GB/T 2985-1991
ảnh thật