1. Đầu phát hiện laser và giai đoạn quét mẫu được tích hợp, cấu trúc rất ổn định và chất chống can thiệp mạnh
2. Thiết bị định vị thăm dò thăm dò, điều chỉnh căn chỉnh điểm laser rất dễ dàng
3. Mẫu ổ trục tự động tiếp cận đầu dò theo chiều dọc, do đó đầu kim vuông góc với quét mẫu
4. Phương pháp cho ăn kim thông minh của áp lực áp lực điều khiển bằng gốm áp suất tự động bảo vệ đầu dò và mẫu
5. Định vị quang học, không cần tập trung, quan sát thời gian thực và định vị khu vực quét mẫu thăm dò
6. Phương pháp chống sốc hệ thống treo, đơn giản và thiết thực, hiệu ứng chống sốc tốt
7. Hộp cách âm được che chắn bằng kim, cảm biến độ ẩm và nhiệt độ cao tích hợp, giám sát thời gian thực của môi trường làm việc
8. Trình quản lý người dùng hiệu chỉnh phi tuyến, trình chỉnh sửa hiệu chỉnh phi tuyến, đặc tính nanomet và độ chính xác đo lường tốt hơn 98%
| Chế độ hoạt động | Chế độ chạm, Chế độ nhấn |
| Chế độ tùy chọn | Ma sát/lực bên, biên độ/pha, lực từ/tĩnh điện |
| Đường cong phổ lực | Đường cong lực FZ, đường cong RMS-Z |
| Phạm vi quét XY | 20*20um, tùy chọn 50*50um, 100*100um |
| Phạm vi quét z | 2,5um, tùy chọn 5um, 10um |
| Độ phân giải quét | Ngang 0,2nm, dọc 0,05nm |
| Cỡ mẫu | Φ90mm, H≤20mm |
| Du lịch giai đoạn mẫu | 15*15mm |
| Quan sát quang học | 4X Ống kính mục tiêu quang học/độ phân giải 2,5um |
| Tốc độ quét | 0,6Hz-30Hz |
| Quét góc | 0-360 ° |
| Môi trường hoạt động | Hệ điều hành Windows XP/7/8/10 |
| Giao diện giao tiếp | USB2.0/3.0 |
| Thiết kế hấp thụ sốc | Mùa xuân lơ lửng/hộp được che chắn bằng kim loại |
