1. Đầu phát hiện laser và giai đoạn quét mẫu được tích hợp, cấu trúc rất ổn định và khả năng chống nhiễu mạnh
2. Thiết bị định vị đầu dò chính xác, điều chỉnh căn chỉnh điểm laser rất dễ dàng
3. Mẫu truyền động trục đơn tự động tiếp cận đầu dò theo chiều dọc, sao cho đầu kim vuông góc với đường quét mẫu
4. Phương pháp nạp kim thông minh của phát hiện tự động gốm áp điện điều khiển bằng động cơ bảo vệ đầu dò và mẫu
5. Định vị quang học tự động, không cần lấy nét, quan sát và định vị thời gian thực của khu vực quét mẫu đầu dò
6. Phương pháp chống sốc treo lò xo, đơn giản và thiết thực, hiệu quả chống sốc tốt
7. Hộp cách âm được che chắn bằng kim loại, tích hợp cảm biến nhiệt độ và độ ẩm có độ chính xác cao, theo dõi thời gian thực của môi trường làm việc
8. Trình chỉnh sửa người dùng hiệu chỉnh phi tuyến của máy quét tích hợp, đặc tính nanomet và độ chính xác của phép đo tốt hơn 98%
| Chế độ hoạt động | chế độ cảm ứng, chế độ chạm |
| chế độ tùy chọn | Lực ma sát/lực bên, biên độ/pha, lực từ/tĩnh điện |
| đường cong phổ lực | Đường cong lực FZ, đường cong RMS-Z |
| Phạm vi quét XY | 20*20um, tùy chọn 50*50um, 100*100um |
| Phạm vi quét Z | 2,5um, tùy chọn 5um, 10um |
| Độ phân giải quét | Ngang 0,2nm, Dọc 0,05nm |
| Cỡ mẫu | Φ≤90mm, H≤20mm |
| Du lịch sân khấu mẫu | 15*15mm |
| quan sát quang học | Vật kính quang học 4X/độ phân giải 2.5um |
| tốc độ quét | 0,6Hz-30Hz |
| góc quét | 0-360° |
| Môi trường hoạt động | Hệ điều hành Windows XP/7/8/10 |
| Phương thức giao tiếp | USB2.0/3.0 |
| Thiết kế chống sốc | Lò xo treo / Hộp được che chắn bằng kim loại |
