1. Thiết kế thu nhỏ và có thể tháo rời, rất dễ mang và dạy
2. Đầu phát hiện laser và giai đoạn quét mẫu được tích hợp, cấu trúc rất ổn định và chất chống can thiệp mạnh
3. Thiết bị định vị thăm dò chính xác, điều chỉnh căn chỉnh tại điểm laser rất dễ dàng
4. Trục đơn điều khiển mẫu để tự động tiếp cận đầu dò theo chiều dọc, để đầu kim được quét vuông góc với mẫu
5. Phương pháp cho ăn kim thông minh của phát hiện tự động bằng gốm áp suất điều khiển động cơ
6. Định vị quang học tự động, không cần tập trung, quan sát thời gian thực và định vị khu vực quét mẫu thăm dò
7. Phương pháp chống sốc kỳ treo mùa xuân, đơn giản và thiết thực, hiệu ứng chống sốc tốt
8. Máy quét tích hợp Trình chỉnh sửa hiệu chỉnh phi tuyến, Đặc tính nanomet và độ chính xác đo lường tốt hơn 98%
Thông số kỹ thuật:
| Chế độ hoạt động | Chế độ chạm, Chế độ nhấn |
| Chế độ tùy chọn | Ma sát/lực bên, biên độ/pha, lực từ/tĩnh điện |
| Đường cong phổ lực | Đường cong lực FZ, đường cong RMS-Z |
| Phạm vi quét XY | 20*20um, tùy chọn 50*50um, 100*100um |
| Phạm vi quét z | 2,5um, tùy chọn 5um, 10um |
| Độ phân giải quét | Ngang 0,2nm, dọc 0,05nm |
| Cỡ mẫu | Φ90mm, H≤20mm |
| Du lịch giai đoạn mẫu | 15*15mm |
| Quan sát quang học | 4X Ống kính mục tiêu quang học/độ phân giải 2,5um |
| Tốc độ quét | 0,6Hz-30Hz |
| Quét góc | 0-360 ° |
| Môi trường hoạt động | Hệ điều hành Windows XP/7/8/10 |
| Giao diện giao tiếp | USB2.0/3.0 |
| Thiết kế hấp thụ sốc | Mùa xuân bị đình chỉ |
